Minyatür vakum pompaları, birincil çalışma ortamı olarak gazı kullanan pompalardır. Uzun-süreli rölantide ve kuru çalışmaya uygun olup, motorla çalıştırılan ileri geri hareketle gaz emme ve boşaltma işlemini gerçekleştirmek için bir diyaframı çalıştırarak bir vakum (negatif basınç) oluştururlar. Bu cihazlarda hem emme hem de egzoz nozulları bulunur. Özel modeller, farklı çalışma koşullarına uyum sağlamak için çift-amaçlı emme/genleşme ve su/gaz modellerini içerir.
Temel bileşenler diyafram pompasını ve vakum kontrol cihazını içerir. Tipik bir ürün Busch RA0020F'dir (pompalama hızı 20 m³/saat, nihai basınç 0,1 mbar). Teknolojik gelişme minyatürleştirmeye, enerji verimliliğine ve zekaya odaklanıyor; manyetik kaldırma teknolojisini, yağsız- yağlama teknolojisini ve çevre dostu tasarımı birleştiriyor. Başlıca uygulamalar arasında tıbbi ekipmanlar (emme cihazları, vantilatörler), çevresel izleme, yarı iletken üretimi ve yeni enerji endüstrisi yer almaktadır. İç pazar büyüklüğünün 2024 yılında 5 milyar yuan'a ulaşacağı tahmin ediliyor.